國家層面：

2008年環保部印發《電子工業污染物排放標準 半導體器件》（征求意見稿）。規定VOCs的限值現有企業為80mg/m³，新建企業為60mg/m³。

2008年環保部印發《電子工業污染物排放標準 電子元件》（征求意見稿）。規定VOCs的限值現有企業為80mg/m³，新建企業為50mg/m³。

2008年環保部印發《電子工業污染物排放標準 電子終端產品》（征求意見稿）。規定VOCs的限值現有企業為70mg/m³，新建企業為50mg/m³。

2008年環保部印發《電子工業污染物排放標準平板顯示器、電真空及光電子器件》（征求意見稿）。規定VOCs的限值現有企業為100mg/m³，新建企業為80mg/m³。

2015年環保部印發《電子工業污染物排放標準》（征求意見稿）規定非甲烷總烴最高允許排放濃度為100mg/m³，特別排放限值是80mg/m³，沒有涉及TVOCs。

2018年環保部印發《電子工業污染物排放標準》（二次征求意見稿）規定非甲烷總烴最高允許排放濃度為100mg/m³，TVOCs是150mg/m³。特排限值分別為50、100。

地方層面：

北京市《大氣污染物綜合排放標準》（DB11/501-2007）中規定半導體及電子產品制造VOCs的限值現有企業為50mg/m³，新建企業為20mg/m³。

天津市《工業企業揮發性有機化合物排放控制標準》（DB12/524-2014）。規定電子工業VOCs最高允許排放濃度為80mg/m³。

上海市《半導體行業污染物排放標準》（DB31/374-2006）。規定VOCs最高允許排放濃度為100mg/m³。

2017年廣東省《電子工業揮發性有機物排放標準》（征求意見稿）。規定VOCs最高允許排放濃度為30mg/m³。

2017年廣東省《電子設備制造業揮發性有機化合物排放標準》（征求意見稿）。規定VOCs最高允許排放濃度為40mg/m³。

2018年江蘇省《半導體行業污染物排放標準》（征求意見稿）。規定非甲烷總烴最高允許排放濃度為60mg/m³。

2018年北京市《電子工業大氣污染物排放標準》（征求意見稿）。規定非甲烷總烴最高允許排放濃度為20mg/m³，TVOCs是40mg/m³。